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超純水設備技術應用 成為芯片制造關鍵一環

2022-12-17

  集成電路又稱芯片,是一種微型電子器件,是把電路(包括半導體裝置、元件)小型化、并制造在半導體晶圓表面上形成的具有所需電路功能的微型結構。在半導體行業中對離子的污染非常敏感,超過80%的制作工序都需要用到超純水,對于不同級別的生產線而言,對超純水的質量要求也不盡相同。

  傳統超純水制備工藝通常采用離子交換樹脂進行,此工藝需要進行樹脂再生,既耗費物力又耗費人工。針對傳統工藝中的不足,萊特萊德超純水設備通過雙級反滲透系統+EDI模塊的處理工藝,嚴格執行國家環保政策,可確保處理后的水穩定達標。其技術特點如下:

超純水設備

  1、設計工藝優勢:設備在設計時會進行余量設計,可以保證設備在2年后仍可滿足使用需求,有效保證了設備長久穩定的運行。

  2、電氣控制優勢:設備實現全自動運行,具有一鍵開啟功能,能真正實現無人值守,減少了人工成本投入。

  3、數據監測優勢:儀器儀表完善,在線顯示運行數據,讀取方便、及時、準確,一目了然,隨時了解產水質量。

  4、環保優勢:設備無任何酸堿等造成環境衛生的廢物產生,安全環保。

  5、原材料選擇優勢:選用的原材料品牌優于常規品牌,核心材料原裝進口。

  超純水設備配備濃水置換專業技術,防止膜系統受到微生物污染。通過完善的技術,提高系統回收率,降低能耗和運行成本,除可應用在芯片行業外,在電力、造紙、日化等領域都有著廣泛的應用。

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