超純水設(shè)備作為是一種采用預處理、反滲透、EDI處理技術(shù)用于生產(chǎn)超純水的設(shè)備。超純水的誕生可有效的去除了水中的雜質(zhì)和懸浮物，電阻率達到18 MΩ*cm(25℃)，幫助芯片、單晶硅、半導體等行業(yè)實現(xiàn)清潔生產(chǎn)。

　　作為制備超純水的設(shè)備來說，其在運行中如何維護保養(yǎng)便是十分重要的。下面我就來簡單介紹日常保養(yǎng)會遇到的問題。

　　問題一：超純水設(shè)備的管道怎樣清洗。

　　答：開始時使用超純水沖洗管內(nèi)雜質(zhì)，第二遍、第三遍使用雙氧水清洗消毒，第四遍可應(yīng)用超純水將管內(nèi)雙氧水殘液沖洗干凈。

　　問題二：超純水設(shè)備如何消毒。

　　答：設(shè)備可在清洗水箱中加入1200LRO產(chǎn)水，緩緩加入約10kg25%的H2O2溶液，配制0.2%的H2O2溶液，用清洗泵自循環(huán)10分鐘，使溶液混合均勻。

　　問題三：設(shè)備長期停運時如何保養(yǎng)。

　　答：短期停機(不超過三天)，每天必須用保安過濾器沖洗30分鐘并保證RO組件內(nèi)充滿過濾水。RO裝置如長期停機(大于三天)，應(yīng)采用1%甲醛溶液，充滿RO組件，然后關(guān)閉所有閥門，且每月檢查一次。

　　問題四：超純水拋光樹脂應(yīng)該如何保管?

　　答：防凍，超純水拋光樹脂的保存環(huán)境需在周圍環(huán)境>40℃情況下，如果溫度低于5℃，為防止樹脂結(jié)冰，可以把樹脂放在食鹽水溶液中。

　　防干，由于超純水拋光樹脂在使用或儲運中水份消失，在發(fā)生此種情況時，切不可把樹脂直接投落水中，而是先將其浸泡于飽和食鹽水中，使其緩慢膨脹不致破碎。

　　防霉，超純水拋光樹脂長期放置在交換器內(nèi)不用，會造成青苔滋長和繁殖細菌，導致樹脂發(fā)霉污染，必須定期進行換水和反沖洗。

　　以上，就是關(guān)于超純水設(shè)備日常保養(yǎng)會遇到的問題總結(jié)。超純水設(shè)備不僅占地空間小，而且在日常維護和操作過程種也是非常簡單，可為電子產(chǎn)業(yè)輸送高純凈的超純水。